产品优势
精密镜头与高性能台面系统集成产品
优秀的解析和对指标准
产品优势
大理石龙门，稳定光学镜头组件
使机器拥有
高精度和良好的稳定性
产品优势
上下交互双台面设计
优化动作流畅产能高
产品优势
精密镜头与高性能台面系统集成产品
优秀的解析和对指标准
产品优势
大理石龙门，稳定光学镜头组件
使机器拥有
高精度和良好的稳定性
产品优势
上下交互双台面设计
优化动作流畅产能高
| 产品特色 | slp 30/30 |
| 最大基板尺寸 | 630mmx730mm（有效曝光尺寸623mmx730mm) |
| 最小基板尺寸 | 250mmx250mm（单机），300mmx300mm（自动线） |
| 基板厚度 | 0.05mm~5mm（单机），0.075mm~3.5mm（自动线） |
| 工艺解析l/s | 12µm/12µm |
| 线宽精度 | ±10% |
| 景深 | ±100µm |
| 层间对位精准度 | 16µm |
| 外层对位准精度 | ±8µm |
| 曝光时间(623mmx460mm&四点对位，不含上下板） | 13秒/面＠30mj/cm2 |
| 生产效率(623mmx460mm&四点对位） | 4.5面／分钟＠30mj/cm2 |
| 光源功率 | 6w |
| 单机台面数量 | 上下交互双台面 |
| 内层线路模组 | 内外层通用 |
| 单机设备重量 | 5000kg |
| 单机外形尺寸 | 3280mmx1700mmx2225mm |
| 自动线外形尺寸 | 6380mmx3460mmx2455mm（不含收放板机） |
| 工作高度（输送高度） | 1030±20mm |
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